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时间:2020-05-29  来源:威海船票网  作者:沈浩淼

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新闻摘要

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  为了理解热斑的形成和刻蚀机理,研究人员在实验基础上发现,碳杂质爆发与热斑处温度存在依赖关系,热斑处的温度比背景靶板处温度高5倍,并随放电时间和等离子体密度满足准线性关系。为了理解热斑刻蚀靶板而引起等离子体碳杂质含量变化的物理机理,课题组在原有发展刮削层快电子模型的基础上进一步发展了天线口处的快电子理论模型,并结合两点模型和新发展的存在快电子下的鞘层电位模型来计算天线口处等离子体参量信息,以此为输入参量,进一步计算物理溅射、化学溅射和辐射增强升华等溅射引起的碳杂质溅射产额。

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·本报记者 :戚鸿朗·

编辑:喻俊明


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